1樓：
光柵尺的感測器應該差不多
只是你這個精度要求太高了
原來我只搞過u級的
另外，不是用什麼裝置就一定可以保證精度的
而是要通過慢慢調
附：光柵尺位移感測器的介紹
一、位移感測器基本原理
光柵位移感測器的工作原理，是由一對光柵副中的主光柵（即標尺光柵）和副光柵（即指示光柵）進行相對位移時，在光的干涉與衍射共同作用下產生黑白相間（或明暗相間）的規則條紋圖形，稱之為莫爾條紋。經過光電器件轉換使黑白（或明暗）相同的條紋轉換成正弦波變化的電訊號，再經過放大器放大，整形電路整形後，得到兩路相差為90o的正弦波或方波，送入光柵數顯表計數顯示。
二、位移感測器安裝方式
光柵線位移感測器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位。
一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上，隨機床走刀而動，讀數頭固定在床身上，儘可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由於安裝位置限制必須採用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。
另外，一般情況下，讀數頭應儘量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。
1、位移感測器安裝基面
安裝光柵線位移感測器時，不能直接將感測器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底塗漆的機床身上。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。
千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內。如果不能達到這個要求，則需設計加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：①應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（最好基座長出光柵尺50mm左右）。②該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.
1mm/1000mm以內。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大於±0.
2mm。安裝時，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.
5mm左右。
2、位移感測器主尺安裝
將光柵主尺用m4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺m4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把m2螺釘徹底上緊。
在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：
（1） 在裝主尺時，如安裝超過1.5m以上的光柵時，不能象橋樑式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。
（2） 在有基座情況下安裝好後，最好用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。
（3） 不能安裝卡子時，最好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、位移感測器讀數頭的安裝
在安裝讀數頭時，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求，然後再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似。最後調整讀數頭，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.
5mm以內。
4、位移感測器限位裝置
光柵線位移感測器全部安裝完以後，一定要在機床導軌上安裝限位裝置，以免機床加工產品移動時讀數頭衝撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，使用者在選購光柵線位移感測器時，應儘量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有餘量。
5、位移感測器檢查
光柵線位移感測器安裝完畢後，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。
在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始資料），往返多次後回到初始位置，觀察數顯表與千分表的資料是否一致。
通過以上工作，光柵感測器的安裝就完成了。但對於一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油汙較多。因此，光柵感測器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照光柵感測器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常採用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力。
三、位移感測器使用注意事項
（1）光柵感測器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源後進行。
（2）儘可能外加保護罩，並及時清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴格防止任何異物進入光柵感測器殼體內部。
（3）定期檢查各安裝聯接螺釘是否鬆動。
（4）為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻塗上一薄層矽油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。
（5） 為保證光柵感測器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液（各50%）清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。
（6） 光柵感測器嚴禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光柵感測器即失效了。
（7） 不要自行拆開光柵感測器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵感測器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。
（8） 應注意防止油汙及水汙染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分佈，引起測量誤差。
（9） 光柵感測器應儘量避免在有嚴重腐蝕作用的環境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質量。
2樓：一刀木魚
平行度一般用平面磨來保證，但你想要的精度級國內恐怕並無企業能有產出來。
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