1樓：匿名使用者
在裝置發展歷史當中，掃描電鏡首先發明，但開始階段掃描電鏡解析度對於光學顯微鏡沒有優勢，電子探針優先掃描電鏡商品化應用。
最早的電子探針不能成像，將光學顯微鏡整合在電子光學鏡筒中，使用光學顯微鏡觀察組織形貌，然後調節偏轉線圈，將電子束定位在感興趣區域，使用x射線波譜儀對該區域的化學成分進行定性定量。電子探針主要應用在金屬材料和礦物研究方面，對於金相學和巖相學的發展完善起到關鍵作用。
對於金屬材料，斷口失效微觀分析是最需要經常觀察的，在掃描電鏡可以承擔重任之前，都採用透射電鏡複製斷口形貌（c膜復形），採用掃描透射方式觀察，費時費力。
可以直接觀察斷口形貌特徵的掃描電鏡，一直在極力發展當中，隨著二次電子探測器的改進，和成像理論的完善，掃描電鏡解析度有了實質性提高，掃描電鏡進入商品化發展階段。金屬材料粗糙斷口微觀形貌基本不再使用透射電鏡，在掃描電鏡之下一目瞭然，而且掃描電鏡可以從肉眼可見的巨集觀區域到微米量級區域結構進行大景深很有立體感的觀察，極大改善了研究條件。
隨著掃描電鏡技術突破，電子探針緊跟著進行改進，整合掃描電鏡技術及x射線波譜技術，可以微觀成像，在遠超過光學顯微鏡視力範圍的感興趣區域進行精確化學成分分析。
掃描電鏡進入商品化初期，解析度距離理論解析度還有非常大的差距，因此掃描電鏡的商品化發展非常迅速，到目前為止最好的掃描電鏡，已經基本接近當前一般設計的理論解析度。由於電子探針的使命是進行x射線微區分析，而x射線作用區的空間解析度理論上被定位在一到幾個微米範圍，和電子光學系統解析度關係不大。因此電子探針技術並不追求高解析度。
就目前來說，鎢燈絲電子探針的解析度基本停留在上世紀七十年代掃描電鏡的解析度水平，就足夠了。
半導體材料在x射線探測技術上的應用，導致x射線能譜儀的發明和迅速廣泛使用。x射線能譜儀可以同時分析進入探測矽片的所有元素特徵x射線，同時展譜，而wds對元素逐個搜尋和展譜需要漫長的時間，早期一個元素定性可能都需要幾個小時，而eds只需要幾分鐘即可對所有元素完美實現定性。因此eds被廣泛配置在sem中，用於高分辨觀察和微區化學定性及半定量研究，在金屬材料斷口分析中起到重要作用；同時eds也被配置在電子探針當中主要用於化學定性，替代wds漫長的搜尋定性，wds直接用eds結果直接進行定量分析，極大提高了電子探針的分析速度。
另外電子探針的wds定量分析，都使用標準樣品。而eds大多進行無標樣分析。
---- 以上講的可能太羅嗦，希望有點用！
2樓：匿名使用者
掃描電鏡(scanning electron microscope，sem)，可觀察金相組織，斷口形貌等；若sem配備有能譜儀eds（energy dispersive spectrometer），也是可以做成分分析的，不過一般做定性，確定夾雜物等用的。
電子探針（electron probe micro-analyzer，epma），可對試樣進行微小區域成分分析，除h、he、li、be等幾個較輕元素外，都可進行定性和定量分析。
x射線（x-ray phase analysis），鋼鐵材料一般用來做相分析用的，即確定組織中用哪些相組成，一般為鐵素體，奧氏體相等。
看你應該是從事金屬材料專業的吧，希望對你有用，還有問題可以問我，我是做鋼鐵產品研發的
3樓：風___跡
掃描電鏡的應用：
1.利用表面形貌襯度原理（a）進行鋼鐵材料的斷口分析，如穿晶解理斷口﹑沿晶斷口﹑氫脆沿晶斷口﹑韌窩斷口；(b)進行鋼鐵材料樣品表面形貌分析；(c)進行鋼鐵材料金相組織觀察分析。
2.利用原子序數襯度原理，對鋼鐵材料進行定性的成分分析。
電子探針——x射線能譜儀的應用：
(1)定點成分分析：電子束固定在鋼鐵需要分析的微區上,能譜儀收集x射線訊號，幾分鐘內即可直接得到微區內全部元素的譜線。
(2)成分線分佈分析：將譜儀固定在鋼鐵材料所要測量的某一元素特徵x射線訊號(波長或能量)的位置上；使電子束沿著指定的路徑作直線軌跡掃描，便可得這一元素沿該直線的濃度分佈曲線。
(3)成分面分布分析：電子束在鋼鐵材料樣品表面作光柵掃描，把譜儀固定在某一元素特徵x射線訊號的位置，接收訊號可得該元素的面分佈影象。
4樓：知識海洋的魚兒
電子探針和掃描電鏡有很多重疊的功能，二者都可以成二次電子像，背散射電子像。區別在於掃描電鏡景深大，可以看斷口；而電子探針景深小，只能看相對平整的表面形貌，不過電子探針上有波譜儀，對微區定量和線掃描，面掃描很有優勢。二者均可配置能譜儀。
請以鋼鐵材料為例，簡述掃描電鏡及電子探針x射線能譜儀在材料組織形貌觀察及微區成分分析中應用
5樓：匿名使用者
1摘要2概述鋼鐵的發展及成分3掃描電鏡，電子探針x射線能譜儀的工作原理與分析檢測限，優缺點4實驗方案5資料分析6結論
6樓：
又稱電子探針顯微分析試樣非破壞 性微區化學元素定性定量分析方法。試樣直徑在1 }m、體積 }t 1 um3範圍，以直徑cf . }一lum的電子束激發，其中各種元 素受激發射出特徵x射線。
以此確定微區中所含化學元素， 並根據其強度進行定量分析。可用顯微鏡確定試樣某一位置 上的組分及組分的空間分佈
7樓：匿名使用者
能譜儀(eds,energydispersivespectrometer)是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。其原理是：當x射線光子進入檢測器後，在si（li）晶體內激發出一定數目的電子空穴對。
產生一個空穴對的最低平均能量ε是一定的（在低溫下平均為3.8ev），而由一個x射線光子造成的空穴對的數目為n=△e/ε，因此，入射x射線光子的能量越高，n就越大。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對，經過前置放大器轉換成電流脈衝，電流脈衝的高度取決於n的大小。
電流脈衝經過主放大器轉換成電壓脈衝進入多道脈衝高度分析器，脈衝高度分析器按高度把脈衝分類進行計數，這樣就可以描出一張x射線按能量大小分佈的圖譜。透射電鏡能譜和掃描電鏡能譜只是能譜儀安裝在透射電鏡和掃描電鏡上的區別
8樓：匿名使用者
掃描電鏡的應用：
1.利用表面形貌襯度原理（a）進行鋼鐵材料的斷口分析，如穿晶解理斷口﹑沿晶斷口﹑氫脆沿晶斷口﹑韌窩斷口；(b)進行鋼鐵材料樣品表面形貌分析；(c)進行鋼鐵材料金相組織觀察分析。
2.利用原子序數襯度原理，對鋼鐵材料進行定性的成分分析。
電子探針——x射線能譜儀的應用：
(1)定點成分分析：電子束固定在鋼鐵需要分析的微區上,能譜儀收集x射線訊號，幾分鐘內即可直接得到微區內全部元素的譜線。
(2)成分線分佈分析：將譜儀固定在鋼鐵材料所要測量的某一元素特徵x射線訊號(波長或能量)的位置上；使電子束沿著指定的路徑作直線軌跡掃描，便可得這一元素沿該直線的濃度分佈曲線。
(3)成分面分布分析：電子束在鋼鐵材料樣品表面作光柵掃描，把譜儀固定在某一元素特徵x射線訊號的位置，接收訊號可得該元素的面分佈影象。
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