1樓:東方小蝦
背散射電子:入射電子被固體樣品原子核**回來的一部分入射電子。來自樣品表層幾百奈米的深度範圍,它的產額隨著原子序數的增大而增大,因此既可以做成分分析,也可以做形貌分析,但解析度較低,約50-200nm。
二次電子:入射電子束將原子核外電子撞擊,使其脫離軌道並離開樣品表面。一般在表層5-10nm激發出來,因此很適合顯示樣品表面形貌,做斷口觀察。
3.吸收電子:入射電子進入試樣,多次彈射後能量損失被樣品吸收。吸收電子也可以用作定性的微區成分分析,是因為 吸收電子=入射電子-背散射電子-二次電子,即原子序數大的吸收電子少。
4.透射電子:若樣品很薄,部分電子穿過試樣成為透射電子。因此,對於薄樣,可以利用特徵能量損失配合電子能量分析器進行微區成分分析。
5:特徵x射線:樣品內層電子被入射電子激發後,外層電子會向內層躍遷以填補空位,這時就會釋放具有特徵能量的x射線。當用x射線探測器探測到微區的特徵波長,就可以以此來進行元素判定。
6:俄歇電子:樣品內層電子被入射電子激發後,外層電子會向內層躍遷以填補空位,這時如果不發出x射線,就會把空位層的另一電子發射出去,這個被電離的電子就叫俄歇電子,僅適用於做表層1nm左右的成分分析。
2樓:藍機當
1)背散射電子:能量高;來自樣品表面幾百nm深度範圍;其產額隨原子序數增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及結構分析。
2)二次電子:能量較低;來自表層5—10nm深度範圍;對樣品表面化狀態十分敏感。 不能進行成分分析.主要用於分析樣品表面形貌。
3)吸收電子:其襯度恰好和se或be訊號調製影象襯度相反;與背散射電子的襯度互補。 吸收電子能產生原子序數襯度,即可用來進行定性的微區成分分析.
4)透射電子:透射電子訊號由微區的厚度、成分和晶體結構決定.可進行微區成分分析。
5)特徵x射線: 用特徵值進行成分分析,來自樣品較深的區域
6)俄歇電子:各元素的俄歇電子能量值很低;來自樣品表面1—2nm範圍。它適合做表面分析。
掃瞄電鏡中,入射電子束與固體樣品相互作用產生哪幾種物理訊號?各有什麼用途?
3樓:張
原子中核外電子對入射電子的散射作用是屬於非彈性散射過程。在散射過程中入射電子所損失的能量部分轉變為熱,部分使物質中原子發生電離或形成自由載流子(在半導體情況下),並伴隨著產生各種有用資訊,如:二次電子、俄歇電子、特徵x射線、特徵能量損失電子、陰極發光、電子感生電導等。
1.二次電子:二次電子是指背入射電子轟擊出來的核外電子。
由於原子核和外層價電子間的結合能很小,當原子的核外電子從入射電子獲得了大於相應的結合能的能量後,可脫離原子成為自由電子。如果這種散射過程發生在比較接近樣品表層處,那些能量大於材料逸出功的自由電子可從樣品表面逸出,變成真空中的自由電子,即二次電子。 二次電子來自表面5-10nm的區域,能量為50ev。
它對試樣表面狀態非常敏感,能有效地顯示試樣表面的微觀形貌。由於它發自試樣表層,入射電子還沒有被多次反射,因此產生二次電子的面積與入射電子的照射面積沒有多大區別,所以二次電子的解析度較高,一般可達到5-10nm。掃瞄電鏡的解析度一般就是二次電子解析度。
二次電子產額隨原子序數的變化不大,它主要取決與表面形貌。
2.背向散射電子:背射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子 ,其能量與入射電子相當。其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。
3.x射線:當內層電子被擊出後,外層電子掉入內層電子軌道而發出x射線,由此可分析元素成分。x射線一般在試樣的500nm-5mm深處發出。
4.陰極發光:當電子束產生的電子-空穴對再結合時,會放出長波能量,此謂陰極發光;不同材料放出不同顏色的光。
電子束與固體樣品作用時產生的訊號主要有哪些
4樓:直到遇見你天蠍
對於形貌成像:主要訊號是二次電子,背散射電子也有使用吸收電流成像,是比較特殊的應用,往往用於專門材料檢測。
對於成分分布成像:背散射電子, 陰極螢光,元素特徵x射線,學前兒童觀察力的發展特點:
(1)在目的性上,由於神經系統還不夠發達,兒童往往會隨心所欲的觀察,易受無關事物和細節影響,極有可能被自己所喜歡的、感興趣的物品所吸引。3-4歲兒童一般會在觀察過程之中忘掉觀察任務,4-6歲兒童觀察的目的性有所提高。
(2)在持續時間上,受兒童對觀察物品喜愛程度的影響,但隨著年齡增加,稍有改善;在一實驗裡,三四歲的幼兒觀察**的時間只有6分8秒,5歲增加到7分6秒,6歲可達12分3秒 。
(3)在系統性上,兒童不善於將觀察的物件整體與區域性間、區域性與區域性間聯絡,只能得到所看見的單一部分;幼兒的觀察從最初的雜亂無章逐漸發展成為有組織、有系統的綜合的知覺過程
5樓:雲蔀抒
電子束與固體樣品作用時產生的訊號。它包括:背散射電子、二次電子、吸收電子、透射電子、特徵x射線、俄歇電子。
除了以上六種訊號外,固體樣品中還會產生例如陰極螢光、電子束感生效應等訊號,經過調製後也可以用於專門的分析。
電子束和固體樣品作用時會產生哪些訊號?各有什麼特點
6樓:匿名使用者
背散射電子、二次電子、吸收電子、透射電子、特徵x射線、俄歇電子。
背散射電子的產生範圍深,由於背散射電子的產額隨原子序數的增加而增加,所以,利用背散射電子作為成像訊號不僅能分析形貌特徵,也可用來顯示原子序數襯度,定性地進行成分分析。
若在樣品和地之間接入乙個高靈敏度的電流錶,就可以測得樣品對地的訊號。若把吸收電子訊號作為調製影象的訊號,則其襯度與二次電子像和背散射電子像的反差是互補的。
7樓:匿名使用者
電子束與固體樣品作用時產生的訊號。它包括:背散射電子、二次電子、吸收電子、透射電子、特徵x射線、俄歇電子。
除了以上六種訊號外,固體樣品中還會產生例如陰極螢光、電子束感生效應等訊號,經過調製後也可以用於專門的分析。
背散射電子(bse)
背散射電子是被固體樣品中的原子核**回來的一部分人射電子,其中包括彈性背散射電子和非彈性背散射電子。彈性背散射電子是指被樣品中原子核**回來的,散射角大於90度的那些人射電子,其能量沒有損失(或基本上沒有損失)。由於入射電子的能量很高,所以彈性背散射電子的能量能達到數千到數萬電子伏。
非彈性背散射電子是入射電子和樣品核外電子撞擊後產生的非彈性散射,不僅方向改變,能量也有不同程度的損失。如果有些電子經多次散射後仍能**出樣品表面,這就形成非彈性背散射電子。非彈性背散射電子的能量分布範圍很寬,從數十電子伏直到數千電子伏。
從數量上看,彈性背散射電子遠比非彈性背散射電子所佔的份額多。背散射電子來自樣品表層幾百奈米的深度範圍。由於它的產額能隨樣品原子序數增大而增多,所以不僅能用作形貌分析,而且可以用來顯示原子序數襯度,定性地用作成分分析。
彈性背散射電子和非彈性背散射電子的比較見表下。
2.二次電子(se)
在入射電子束作用下被轟擊出來並離開樣品表面的樣品的核外電子叫做二次電子。這是一種真空中的自由電子。一由於原子核和外層價電子間的結合能很小,因此外層的電子比較容易和原子脫離,使原子電離。
乙個能量很高的入射電子射人樣品時,可以產生許多自由電子,這些自由電子中90%是來自樣品原子外層的價電子。
二次電子的能量較低,一般都不超過8x10-19j(50ev)。大多數二次電子只帶有幾個個電子伏的能量。在用二次電子收集器收集二次電子時,往往也會把極少量低能量的非彈性背散射電子一起收集進去。
事實上這兩者是無法區分的。
二次電子一般都是在表層5~10nm深度範圍內發射出來的,它對樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效地顯示樣品的表面形貌。二次電子的產額和原子序數之間沒有明顯的依賴關係,所以不能用它來進行成份分析。
3.吸收電子
入射電子進入樣品後,經多次非彈性散射能量損失殆盡(假定樣品有足夠的厚度沒有透射電子產生),最後被樣品吸收。若在樣品和地之間接人乙個高靈敏度的電流錶,就可以測得樣品對地的訊號,這個訊號是由吸收電子提供的。
人射電子束和樣品作用後,若逸出表面的背散射電子和二次電子數量越少,則吸收電子訊號強度越大。若把吸收電子訊號調製成影象,則它的襯度恰好和二次
電子或背散射電子訊號調製的影象襯度相反。
當電子束入射乙個多元素的樣品表面時,由於不同原子序數部位的二次電子產額基本上是相同的,則產生背散射電子較多的部位(原子序數大)其吸收電子的數量就較少,反之亦然。因此,吸收電子能產生原子序數襯度,同樣也可以用來進行定性的微區成分分析。
4.透射電子
如果被分析的樣品很薄,那麼就會有一部分人射電子穿過薄樣品而成為透射電子。這裡所指的透射電子是採用掃瞄透射操作方式對薄樣品成像和微區成分分析時形成的透射電子。這種透射電子是由直徑很小(<10nm)的高能電子束照射薄樣品時產生的,因此,透射電子訊號是由微區的厚度、成分和晶休結構來決定。
透射電子中除了有能量和入射電子相當的彈性散射電子外,還有各種不同能量損失的非彈性散射電子,其中有些遭受特徵能量損失△e的非彈性散射電子(即特徵能量損失電子)和分析區域的成分有關,因此,可以利用特徵能量損失電子配合電子能量分析器來進行微區成分分析。
5.特徵x射線(x-ray)
當樣品原子的內層電子被人封電子激發或電離時,原子就會處於能量較高的激發狀態,此時外層電子將向內層躍遷以填補內層電子的空缺,從而使其有特徵能蛋的x射線釋放出來。
根據莫塞萊定律,如果我們用x射線探測器測到了樣品微區中存在某一種特徵波長,就可以判定這個微區中存在著相應的元素。
6.俄歇電子(aes)
在入射電子激發樣品的特徵x射線過程中,如果在原子內層電子能級躍遷過程中釋放出來的能量並不以x射線的形式發射出去,而是用這部分能量把空位層內的另乙個電子發射出去(或使空位層的外層電子發射出去),這個被電離出來的電子稱為俄歇電子.
俄歇電子的平均自由程很小(1nm左右),而只有在距離表面層1nm左右範圍內(即幾個原子層厚度)逸出的俄歇電子才具備特徵能量,因此俄歇電子特別適用做表面層成分分析。
綜上所述,如果使樣品接地保持電中性,那麼入射電子激發固體樣品產生的四種電子訊號強度與入射電子強度i0之間滿足以下關係:
式中ib——背散射電子訊號強度;
is——二次電子訊號強度;
ia——吸收電子(或樣品電流)訊號強度;
it——透射電子訊號強度。
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