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時間 2022-03-30 03:55:19

1樓:關0秀0儀

7.3.2.3在原位表徵的增長,金屬氧化物薄膜不同的方法,已被用來評估薄膜生長和厚度在

沉積。中rheed振盪,在薄膜生長,一直是最熱門診斷方法,以監察的增長,金屬氧化物薄膜。在這方面的應用,強度的specularly反映了電子束進行監測。

如果角度的事件束表面是一套,所以會有干擾的電子反映

從表面不同的高度由乙個單位-細胞層,振盪的密度表面步驟,將導致振盪的強度鏡面反射。舉例來說,觀察中rheed振盪的格局,增長ybco結構的電影表明,電影長大的兩個尺寸與厚度的一組細胞,兩維

核對梯田和隨後的聚結的島嶼(寺,等人,

2023年;卡爾等人, 2023年) 。該中rheed振盪亦已觀察期間

增長,其他金屬氧化物薄膜,如鈦酸鍶(金,等人, 2023年;西川,等人,

2023年)和lanio3 (陳等人, 2023年) 。

2樓:圭唱張慧月

數字7.9示意圖1

krastanov

-stranski增長機制,為一

初始沉積的ybco結構層對良好的晶格匹配的襯底

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